气体温控器Thermal Control system 是一个精确的气体加热/制冷温度控制系统,可以迅速将温度从-80℃升温到+200℃,设计用于加热/制冷气体(氮气,氩气等)和清洁干燥空气(CDA)的各种工艺制程的工艺应用。 气体温控器Thermal Control system 使用制冷级联技术,以实现低温和超低温冷却气体冷却工艺,无需使用液氮和干冰的消耗性冷却剂,降低了成本、风险
Thermal Control system气体温控器 是一个精确的气体加热/制冷温度控制系统,可以迅速将温度从-80℃升温到+200℃,设计用于加热/制冷气体(氮气,氩气等)和清洁干燥空气(CDA)的各种工艺制程的工艺应用。 Thermal Control system气体温控器 使用制冷级联技术,以实现低温和超低温冷却气体冷却工艺,无需使用液氮和干冰的消耗性冷却剂,降低了成本、风险